四川省眉山市-半导体扩散、退火、外延等设备及

　　等设备配套零部件以及红外光学零部件，进一步扩大眉山产物出产能力。项目打算总投资 20，900。00 万元；项目扶植期 3 年，扶植地址为四川省眉山市。本项目标实施从体为成都超纯使用材料股份无限公司全资子公司眉山超纯。

　　公司先辈的手艺研发实力、丰硕的工艺优化等出产经验，可保障公司正在工艺手艺拓展使用过程中，及时开辟高质且不变靠得住的产物，为项目标成功实施供给手艺支持。

　　做为其亲近的零部件供应商，公司有需要按照半导体出产工艺需求，针对退火、扩散、外延等工艺设备环节的恶劣工况，强化特殊涂层工艺的财产化落地能力，冲破半各类导体零部件制制壁垒，从而帮力处理的半导体特殊涂层零部件的卡脖子问题。

　　超高温、超高实空下的不变运转，维持晶圆的高良率。目前，公司已具备刻蚀、光刻、量检测、退火、薄膜堆积、硅外延等多品种半导体设备零部件的配套能力，是国内少少数 5nm 及以下制程半导体刻蚀设备焦点零部件的供应商。

　　凭仗多年的研发手艺和严谨的出产办理，以行业尺度审视本身成长，不竭研发立异，处理了客户很多极高难度的需求，不竭为半导体和红外光学等范畴供给高质量产物，堆集了成熟的出产经验，为公司产物质量的均一性、不变性创制了优良前提。

　　近年来，正在国度政策支撑和资金持续搀扶指导下，国内晶圆厂商纷纷扩产，带动国内半导体设备市场需求迸发式增加。同时，跟着各类电子终端的芯片需求及智能化、网联化的成长，半导体设备行业规模连结大幅度的正增加。此外，先辈制程成长、工艺流程改良，半导体设备也送来新需求。按照 SEMI 数据，2024年中国半导体设备市场规模接近 500 亿美元，占全球半导体设备市场份额跨越 40%。

　　公司颠末多年的经验堆集取手艺积淀，具有了丰硕的工艺节制经验取先辈的设备研制能力，可根据分歧器件产物出产的需要进行定制化的工艺开辟及设备设置装备摆设，为公司出产新产物所需的设备、工艺升级打下的根本。

　　跟着全球半导体财产链向我国转移，我国半导体财产连结高速成长，芯片制制各个环节的设备市场需求兴旺，为国内半导体零部件企业供给优良成长机缘。半导体零部件企业扩产志愿强烈。半导体系体例制工艺流程包罗薄膜堆积、涂光刻胶、显影、刻蚀、离子注入等多个焦点环节，涉及零部件品种较为普遍。受终端芯片市场拉动，半导体设备使用对配套零部件构成更大的需求。

　　将来 5G、物联网、人工智能等新手艺驱动下，半导体设备市场全体将呈现快速成长趋向，且公司取客户告竣了不变的合做关系，将来订单充脚，为本项目标实施供给产能消化前提。

　　正在半导体系体例程进一步提高的布景下，退火及扩散等环节对污染物、颗粒物等要求进一步严苛，半导体特殊涂层因为其手艺壁垒高、国产化率低，成为影响现有晶圆出产的要素之一。客户 A 等开展深切的合做，为其供给零部件特殊涂层办事，正在其刻蚀设备中构成普遍的配套。正在此过程中，公司不竭堆集合用于分歧材料、使用分歧工艺的特殊涂层手艺，持续拓宽特殊涂层手艺正在半导体系体例制范畴的使用。而客户 B、客户 A 等企业也不竭按照半导体设备的国产化需求，对产物系列进行延长，实现正在外延、退火等工艺范畴的设备产物结构，进一步扩大对分歧使用场景的特殊涂层零部件的市场需求。

　　此演讲为正式可研演讲摘录公开部门。定制化编制立项审批存案、资产让渡并购、合伙、资产沉整、国资委存案、银行贷款、能评环评、财产基金融资、内部董事会投资决策等用处可行性研究演讲可征询思瀚财产研究院。前往搜狐，查看更多。

　　因而，公司丰硕的出产经验取成熟健全的运营系统，为公司项目实施、产物拓展供给办理支撑，为本项目标成功实施供给了无力的运营保障。

　　本项目已正在四川省彭山区经济和消息化局完成固定资产投资项目存案，项目代码：川投资备【-07-02-115013】JXQB-0448 号。

　　颠末多年成长，公司不竭深化半导体设备焦点零部件范畴的研究，控制了先辈的特殊涂层工艺等概况处置手艺，除正在刻蚀设备方面实现规模化配套外，也逐渐渗入至外延、退火等半导体环节设备范畴，实现产物及手艺正在半导体财产链内的无效延长。跟着我国芯片产物市场需求的持续，半导体各工艺环节的设备需求也逐渐增加，市场要求具备配套零部件企业扩大产物供应能力，因而公司需要持续扩充正在退火、扩散、外延等设备范畴的产物供应，把握市场快速成长带来的增加机缘。

　　通过本项目标实施，公司将依托现有细密特殊涂层手艺，针对分歧材料和使用的半导体设备零部件产物进行配套产能扶植。公司将正在更多半导体设备环节实现高手艺、高附加值的环节零部件国产化自从配套，本项目有帮于满脚我国半导体设备厂商从成熟制成迈向先辈制程的成长需求，帮力我国半导体财产的国产化过程。

　　通过本项目标实施，公司将实现配套国防科技光学产物的特殊涂层及零部件加工制制能力。本项目有帮于公司拓展焦点特殊涂层手艺的使用范畴，并深化正在国防科技范畴的使用拓展，为国度国防工业成长贡献力量，同时将鞭策公司运营规模持续扩大，不竭强化公司市场所作力。

　　通过本项目标实施，公司将充实阐扬特殊涂层工艺等概况处置手艺的先辈性，对现有眉山出产进行升级。本项目有帮于公司提高 RTP 反射板、晶舟扩散器件、外延石墨托盘等产物产能，加强公司产物出产能力取订单消化能力，实现不变成长奠基根本。

　　本项目扶植地址位于四川彭山经济开辟区创和西段 6 号，已取得《不动产权证书》（川 2024 彭山区不动产权第 0007172 号）。

　　已获得眉山市彭山生态局下发的环评批复《关于眉山超纯使用材料科技无限公司眉山产能扩建项目影响演讲表的批复》（眉市环建彭2025年21 号）。

　　半导体系体例制工艺中，退火、扩散、外延等环节的工艺较为恶劣，工艺设备零部件面对侵蚀、高温等要素影响，导致零部件利用寿命下降并发生诸多杂质，提超出跨越产成本的同时也影响晶圆质量。细密涂拆工艺可以或许将氧化钇、SiC 等陶瓷粉体材料涂覆正在退火及扩散工艺设备的实空腔体内部焦点零部件概况，防止工件污染物并添加工件利用寿命。

　　凭仗产物合作力劣势和快速响应能力，公司焦点客户收入持续连结不变，客户黏性不竭加强，取客户 A、客户 B、客户 D、屹唐股份、华卓精科、鲁汶仪器等国产设备龙头成立深切合做；跟着公司影响力不竭提拔，正在新客户开辟方面也行之有效，产物已通过客户 E、客户 F 等头部晶圆厂认证，并批量供货，用于替代国际厂商原拆零部件。此外，公司积极拓展核电坐泵阀用耐辐照材料及暗室材料等新兴范畴，为可持续增加注入新动能。此外，公司还积极投身国度严沉工程项目，并取国内沉点科研单元配合研制细密光学器件，保障国防科技出产。

　　公司正在办事半导体设备厂商的过程中，不竭拓展特殊涂层的合用性研究，取国内多家光学设备研究院所构成合做，帮力光学产物正在国防配备范畴的推广使用。跟着我国兵器配备手艺实力的快速提拔，新型产物开辟及财产化使用不竭加速，国防备畴对各类光学产物的配套需求持续增加，做为具备较强特殊涂层手艺的企业，公司有需要强化本身正在国防科技市场的手艺能力，通过扩大光学产物特殊涂层办事帮力我国兵器配备迭代升级，取此同时也进一步丰硕和优化公司产物布局，鞭策公司营业愈加健康成长。

　　因为半导体设备焦点零部件的制制需要公司持久进行试探，出产过程中对于温度、气流等的节制需要多年的出产经验做为支持，公司深耕该范畴近二十年，持续鞭策公司出产办理等扶植。通过自建干净车间和自研高精度加工设备，公司实现了国产半导体设备特殊涂层零部件的规模化出产，环节工序从动化率显著提拔。

　　本项目建成后次要进行半导体设备焦点零部件的出产，不属于沉污染行业，项目营运过程中发生的次要污染物有出产废气、出产废水、噪声和固体废料，正在设备采购中已放置采购配套环保设备。项目实施过程中公司将采纳响应办法对污染物进行环保处置并达到国度环保的排放尺度。

　　跟着国内半导体先辈制程工艺微缩化迭代，半导体设备反映腔室内部面对愈发严苛的工艺制备，高密度等离子体、极端温度波动及高频离子轰击对反映腔内零部件的抗机能和不变性提出指数级增加的手艺要求。公司使用自从研发的多项特殊涂层工艺，正在介质窗、喷淋头、喷嘴、刻蚀环、内衬、静电卡盘等焦点零部件概况建立纳米级致密防护层，实现等离子体耐受性、超低颗粒和微量元素污染节制等环节机能冲破，无效保障半导体先辈制程设备正在超高档离子。